近日,我å¸è‡ªç®¡åŸºé‡‘投資ä¼æ¥(yè)åˆè‚¥å¾¡å¾®åŠå°Ž(dÇŽo)體技術(shù)有é™å…¬å¸ï¼ˆä»¥ä¸‹ç°¡ç¨±â€œå¾¡å¾®åŠå°Ž(dÇŽo)é«”â€ï¼‰é¦–臺Halo-100 掩模基æ¿ç¼ºé™·æª¢æ¸¬ç”¢(chÇŽn)å“æˆåŠŸç™¼(fÄ)é‹(yùn)ï¼Œå¹¶é †åˆ©äº¤ä»˜åœ‹å…§(nèi)先進(jìn)æŽ©æ¨¡å» ã€‚
御微åŠå°Ž(dÇŽo)é«”è‡ªä¸»ç ”ç™¼(fÄ)çš„Halo-100è¨(shè)備作為御微“掩模全生命周期質(zhì)é‡æŽ§åˆ¶â€ç”¢(chÇŽn)å“線的第二款產(chÇŽn)å“ï¼Œæ†‘å€Ÿå¾¡å¾®å¤šå¹´ä¾†åœ¨æŽ©æ¨¡æª¢æ¸¬é ˜(lÇng)域ç©ç´¯çš„è±å¯Œç¶“(jÄ«ng)驗和技術(shù)儲備,以高精度光å¸(xué)系統(tÇ’ng)ã€é«˜ç©©(wÄ›n)定性é‹(yùn)動臺系統(tÇ’ng)以åŠé«˜æ½”凈度環(huán)控與傳輸系統(tÇ’ng)為基礎(chÇ”),çµ(jié)åˆå¾¡å¾®å°ˆæœ‰çš„算法和軟件系統(tÇ’ng),æˆåŠŸå¯¦ç¾(xià n)了é‡å°æŽ©?;?blank)缺陷檢測的需求,并將掩模檢測的應(yÄ«ng)ç”¨é ˜(lÇng)åŸŸæ‹“å±•è‡³æŽ©æ¨¡å» ä¾†æ–™æª¢å’ŒæŽ©?;é™S全制程控制檢。
御微åŠå°Ž(dÇŽo)é«”Halo-100掩?;迦毕輽z測產(chÇŽn)å“
我å¸äºŽ2023å¹´åˆé€šéŽåˆè‚¥åœ‹æ£å¤šæ¾¤ç”¢(chÇŽn)æ¥(yè)投資åˆä¼™ä¼æ¥(yè)(有é™åˆä¼™ï¼‰æŠ•è³‡è©²ä¼æ¥(yè),å¦å¤–,國æ£å…¬å¸åƒè‚¡åŸºé‡‘åˆè‚¥çŸ³æºªç”¢(chÇŽn)æ’二期ã€é•·ä¸‰è§’數(shù)å—基金共åŒåŠ©åŠ›å¾¡å¾®åŠå°Ž(dÇŽo)體,未來,國æ£å…¬å¸å°‡å……分利用資æºï¼Œç‚ºå¾¡å¾®åŠå°Ž(dÇŽo)é«”æä¾›æŒçºŒ(xù)的產(chÇŽn)æ¥(yè)賦能與支æŒï¼Œè·(hù)航ä¼æ¥(yè)ç©©(wÄ›n)æ¥ç™¼(fÄ)展,推動åŠå°Ž(dÇŽo)體產(chÇŽn)æ¥(yè)éˆå¿«é€Ÿç™¼(fÄ)展。
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